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考夫曼離子源JYK-KF17
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1
產品描述
參數
考夫曼離子源性能參數
離子源口徑φ17cm
可調仰角±20°(底座自帶刻度指針)
離子束能量100~1000eV連續可調
最大離子束流500mA
束能量均勻區：≥于φ900mm(距源出口900mm處)
束能量不均勻性：≤±10%(距源出口900mm處)
工作氣體氨氣(Ar)、氧氣(O2)
工作氣壓參考范圍0.5~2.0*10-2Pa(推薦0.8~1.5*10-2Pa)
安裝方式：內裝
尺寸：251m*309.5mm
考夫曼離子源的特點
1.優化參數后，可獲得能量單一的離子束
2.離子束流及離子能量連續精確可調
3.離子能量可調節范圍廣、應用范圍廣
4.相比等離子體源及無柵離子源，可獲得更高的離子能量
5.通過不同柵網的選擇，可獲得準直或大面積發散離子束
下面為霍爾離子源與考夫曼離子源的能量對照表(僅供參考)
|
性能指標 |
霍爾離子源 |
考夫曼離子源 |
|
離子能量 |
低（40-200EV） |
高（100-1000EV） |
|
離子束流 |
高（1A以上） |
低（與能量成正比） |
|
束流面積 |
寬（35度半角） |
窄 |
|
反應氣體兼容性 |
好 |
很好 |
|
顆粒的產生 |
低 |
高 |
|
簡單可靠性 |
好 |
很好 |
|
使用費用 |
低 |
高 |
上一個
無
成都金雅克電氣有限公司JYK秉承“是您最佳合作伙伴” 的服務理念，傾聽客戶的聲音，滿足客戶的需求，期待讓客戶更簡單、容易的實現電氣成套設備一體化而帶給您高性價比和人性化的服務。
