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考夫曼離子源JYK-KF17
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產品描述
參數
考夫曼離子源性能參數
離子源口徑φ17cm
可調仰角±20°(底座自帶刻度指針)
離子束能量100~1000eV連續可調
最大離子束流500mA
束能量均勻區:≥于φ900mm(距源出口900mm處)
束能量不均勻性:≤±10%(距源出口900mm處)
工作氣體氨氣(Ar)、氧氣(O2)
工作氣壓參考范圍0.5~2.0*10-2Pa(推薦0.8~1.5*10-2Pa)
安裝方式:內裝
尺寸:251m*309.5mm
考夫曼離子源的特點
1.優化參數后,可獲得能量單一的離子束
2.離子束流及離子能量連續精確可調
3.離子能量可調節范圍廣、應用范圍廣
4.相比等離子體源及無柵離子源,可獲得更高的離子能量
5.通過不同柵網的選擇,可獲得準直或大面積發散離子束
下面為霍爾離子源與考夫曼離子源的能量對照表(僅供參考)
性能指標 |
霍爾離子源 |
考夫曼離子源 |
離子能量 |
低(40-200EV) |
高(100-1000EV) |
離子束流 |
高(1A以上) |
低(與能量成正比) |
束流面積 |
寬(35度半角) |
窄 |
反應氣體兼容性 |
好 |
很好 |
顆粒的產生 |
低 |
高 |
簡單可靠性 |
好 |
很好 |
使用費用 |
低 |
高 |
上一個
無
成都金雅克電氣有限公司JYK秉承“是您最佳合作伙伴” 的服務理念,傾聽客戶的聲音,滿足客戶的需求,期待讓客戶更簡單、容易的實現電氣成套設備一體化而帶給您高性價比和人性化的服務。